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材料信息: 无氧铜背板 无氧铜背板为使用最广发的背板,其具有良好的导热性和导电性,且易于加工。正常情况下铜背板可重复利用20次以上。 背板材料的选择需考虑以下因素: 背板材料和靶材的热传递性; 导电性; 抗冷却水压的机械性能及热循环效果; 重复利用性。 背板的作用: 在溅射过程中可支撑脆性靶材, 如陶瓷靶和软金属材料; 在溅射过程中起到热传递的作用。
材料信息:
无氧铜背板
无氧铜背板为使用最广发的背板,其具有良好的导热性和导电性,且易于加工。正常情况下铜背板可重复利用20次以上。
背板材料的选择需考虑以下因素: 背板材料和靶材的热传递性; 导电性; 抗冷却水压的机械性能及热循环效果; 重复利用性。
背板的作用: 在溅射过程中可支撑脆性靶材, 如陶瓷靶和软金属材料; 在溅射过程中起到热传递的作用。
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