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铜背板
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铜背板

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材料信息:

无氧铜背板

无氧铜背板为使用最广发的背板,其具有良好的导热性和导电性,且易于加工。正常情况下铜背板可重复利用20次以上。


背板材料的选择需考虑以下因素:
背板材料和靶材的热传递性;
导电性;
抗冷却水压的机械性能及热循环效果;
重复利用性。

背板的作用:
在溅射过程中可支撑脆性靶材, 如陶瓷靶和软金属材料;
在溅射过程中起到热传递的作用。


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