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不锈钢背板 不锈钢背板通常适用于旋转靶的背管,成本较低且可回收利用。 背板材料的选择需考虑以下因素: 背板材料和靶材的热传递性; 导电性; 抗冷却水压的机械性能及热循环效果; 重复利用性。 背板的作用: 在溅射过程中可支撑脆性靶材, 如陶瓷靶和软金属材料; 在溅射过程中起到热传递的作用。
不锈钢背板 不锈钢背板通常适用于旋转靶的背管,成本较低且可回收利用。
背板材料的选择需考虑以下因素: 背板材料和靶材的热传递性; 导电性; 抗冷却水压的机械性能及热循环效果; 重复利用性。
背板的作用: 在溅射过程中可支撑脆性靶材, 如陶瓷靶和软金属材料; 在溅射过程中起到热传递的作用。
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